中國環境報見習記者 丁波 記者 蔡新(xin)華 上海被(bei)賦(fu)予打造集成電路產業高地的重大任(ren)務，隨著產業規(gui)模(mo)逐步擴大，廢酸環境無害化(hua)處(chu)置成為突出問題。據了解，上海通(tong)過(guo) “點(dian)對點(dian)”資源(yuan)化(hua)定(ding)向再利(li)用創新(xin)模(mo)式已破解這一難(nan)題。

　　日前，一輛(liang)掛(gua)有危(wei)險標(biao)識的(de)罐裝運輸車穩穩駛入廠區，公(gong)司專(zhuan)(zhuan)職管理(li)員引導(dao)車輛(liang)，過磅(bang)、取樣(yang)、檢(jian)驗、聯單簽(qian)收(shou)……一系列流(liu)程后，車被引導(dao)至專(zhuan)(zhuan)用卸車區，車上(shang)的(de)特殊液(ye)體(ti)被接(jie)收(shou)到(dao)公(gong)司的(de)原料儲料罐中，等待用于后續的(de)生產。

　　這是記者在位于金山第二工業區(qu)內(nei)的(de)(de)上海澎(peng)博(bo)鈦白粉(fen)有(you)限公(gong)(gong)司(以下簡稱(cheng)澎(peng)博(bo)公(gong)(gong)司)看到的(de)(de)場景。罐裝車內(nei)裝運的(de)(de)是液體硫酸，它的(de)(de)特殊性在于是上游集成電路芯(xin)片生產企業使用過的(de)(de)廢(fei)棄硫酸。

　　在現(xian)場，公司(si)負(fu)責(ze)人何(he)文龍告訴記者(zhe)，公司(si)是上海市集成電路芯片行(xing)業產(chan)生(sheng)的廢硫(liu)酸(suan)資源化(hua)利用(yong)定點單位，每天安排專用(yong)車輛將(jiang)廢酸(suan)運(yun)回(hui)工(gong)廠，經過嚴(yan)格的檢驗流程后再投入到鈦白粉生(sheng)產(chan)當中，今年(nian)1月(yue)-7月(yue)已處置利用(yong)廢酸(suan)1.5萬噸。

　　新(xin)模式解決行(xing)業發展難題

　　據上海市生態環境局相關負責人介(jie)紹，上海首創(chuang)的廢(fei)(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)“點對點”資源化(hua)定向(xiang)再利用(yong)模式(shi)運用(yong)逐步成(cheng)熟，目前已(yi)經全部覆蓋了上海具備回(hui)收廢(fei)(fei)酸(suan)條件的集成(cheng)電路芯(xin)片制造企業，總(zong)體上穩定地解決(jue)了上海集成(cheng)電路芯(xin)片制造企業廢(fei)(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)處置問題。

　　據(ju)上海市集成電路行業(ye)協會相關(guan)負(fu)責人介紹，集成電路產業(ye)生(sheng)產過程中會使用大量濃硫酸(suan)，排放以硫酸(suan)物質為主(zhu)，處理(li)廢(fei)硫酸(suan)成本很高，同時會存(cun)在一定的生(sheng)態環境(jing)安(an)全風(feng)險。這個(ge)問題成為阻礙行業(ye)發展的難題。

　　直(zhi)面痛(tong)點(dian)。在上(shang)海市(shi)經(jing)濟(ji)和(he)信息(xi)化(hua)委、上(shang)海市(shi)生態環境(jing)局(ju)等相關部門的支(zhi)持(chi)下，上(shang)海市(shi)固體廢物和(he)化(hua)學品(pin)管理技術中心、上(shang)海市(shi)集成電路(lu)行業協會積(ji)極(ji)探索，多次召開專家研討會論(lun)證處置方案，并于2016年開始由中芯(xin)國際(ji)和(he)澎(peng)博(bo)公司開展(zhan)廢硫酸“點(dian)對點(dian)”資源化(hua)定向再利用試點(dian)運行，經(jing)過多輪試點(dian)驗證，最(zui)終形成較(jiao)為成熟的經(jing)驗。

　　去年(nian)，上海市集成電路(lu)行業協會(hui)會(hui)同多部門專門編(bian)寫形成了《鈦白粉用集成電路(lu)制造行業廢硫酸(suan)》(T/SICA001-2020)團體標準(zhun)，在上海市質(zhi)量技術(shu)監督部門網(wang)站(zhan)和國家標準(zhun)網(wang)上進行公示，全力(li)保障廢酸(suan)源頭質(zhi)量的(de)把控(kong)。

　　多維度再利用效益明顯(xian)

　　廢(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)“點對點”資源化定向再利用(yong)(yong)(yong)，這一新模式的環(huan)境(jing)效(xiao)益、經濟效(xiao)益和社(she)會效(xiao)益都很(hen)顯著(zhu)。相關(guan)專家告訴記(ji)者，模式的核(he)心是(shi)實(shi)現集(ji)成電路制造過程(cheng)中(zhong)產(chan)(chan)生的廢(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)替代鈦白(bai)粉生產(chan)(chan)工藝(yi)過程(cheng)中(zhong)用(yong)(yong)(yong)到的工業(ye)硫(liu)酸(suan)。經過試點驗證，這種模式技術可行性很(hen)強，廢(fei)(fei)酸(suan)再利用(yong)(yong)(yong)單位在使用(yong)(yong)(yong)廢(fei)(fei)硫(liu)酸(suan)生產(chan)(chan)鈦白(bai)粉時(shi)，不需(xu)要(yao)調(diao)整現有工藝(yi)。同時(shi)，替用(yong)(yong)(yong)過程(cheng)不增加(jia)額外的環(huan)境(jing)負(fu)擔與風(feng)險，不影(ying)響產(chan)(chan)品的質量(liang)，符(fu)合“固體廢(fei)(fei)物減(jian)量(liang)化、資源化和無害化”原則(ze)。

　　談(tan)到(dao)經濟效益，這位(wei)專家給記(ji)者算(suan)了一筆賬：澎(peng)博公司(si)再(zai)利用(yong)廢硫(liu)酸(suan)每噸(dun)收費(fei)500元(yuan)，按(an)照上海(hai)市(shi)往(wang)年廢硫(liu)酸(suan)處置(zhi)費(fei)每噸(dun)2000元(yuan)計算(suan)，今年1月(yue)至7月(yue)，澎(peng)博公司(si)累計利用(yong)廢硫(liu)酸(suan)1.5萬噸(dun)，集成(cheng)電路生產企業(ye)(ye)可節約2250萬元(yuan)。同時，澎(peng)博公司(si)也節省(sheng)了購(gou)置(zhi)工業(ye)(ye)濃(nong)硫(liu)酸(suan)的費(fei)用(yong)，產廢企業(ye)(ye)和再(zai)利用(yong)企業(ye)(ye)達(da)到(dao)了“雙(shuang)贏”。

　　此外(wai)，新(xin)模式(shi)還(huan)符(fu)合循環(huan)經濟產(chan)業需(xu)求，不僅解決(jue)了(le)(le)廢硫酸(suan)處(chu)置(zhi)(zhi)出(chu)路難、處(chu)置(zhi)(zhi)費用高的難題，降(jiang)低了(le)(le)企業生產(chan)成本和廢硫酸(suan)處(chu)理費用，還(huan)促(cu)進了(le)(le)鈦白(bai)粉(fen)生產(chan)單(dan)位的升級(ji)改造(zao)、精(jing)準轉(zhuan)型和綠色發展(zhan)，為日后(hou)集成電(dian)路產(chan)業的蓬勃發展(zhan)鋪平了(le)(le)道路。

　　深入(ru)推進“點對點”資源化再利用

　　“在探(tan)索(suo)推行這一新模式的(de)過程中，我們(men)以守好環境底(di)線為(wei)前提，做到嚴格把關，按程序推進(jin)。”上海市生(sheng)態環境局相關負責人介紹，在前期提出(chu)設(she)想并加以論證(zheng)的(de)基礎上，他們(men)于2016年發文，同意將中芯國(guo)際和澎(peng)博(bo)公司設(she)立為(wei)上海市首個廢硫酸定向再(zai)利用(yong)試點單(dan)位，利用(yong)芯片(pian)廢硫酸生(sheng)產鈦白粉。

　　2019年(nian)11月(yue)，上(shang)海(hai)(hai)市生(sheng)態環境局同意4家企業廢硫(liu)酸定向資(zi)(zi)源化再利用(yong)備(bei)(bei)案(an)。2020年(nian)10月(yue)，上(shang)海(hai)(hai)市生(sheng)態環境局擴大廢硫(liu)酸定向資(zi)(zi)源化再利用(yong)備(bei)(bei)案(an)，新增4家企業，全(quan)面覆蓋上(shang)海(hai)(hai)市具備(bei)(bei)回(hui)收廢酸條(tiao)件(jian)的集成(cheng)電路制造企業。

　　據介紹(shao)，目前，各方進(jin)展順利(li)，各試(shi)點企業在(zai)(zai)嚴格執行危險(xian)廢物各項管理制度(du)下，廢硫酸源頭品質得到保障(zhang)，并委托(tuo)具有相關運(yun)(yun)輸資質的單位專人專車進(jin)行運(yun)(yun)輸。澎(peng)博公司在(zai)(zai)廢酸使用期間(jian)，生產(chan)運(yun)(yun)行穩定(ding)，各項污(wu)染物排(pai)放(fang)環保指標檢測均符合(he)排(pai)放(fang)標準(zhun)。同時，澎(peng)博公司對生產(chan)設備工藝(yi)進(jin)行優化改造，在(zai)(zai)末端形成(cheng)了可滿足近期集成(cheng)電路產(chan)業發(fa)展需求的每年(nian)6萬噸廢硫酸利(li)用能力。

　　“十四五”期間，上海(hai)的(de)集成電路產(chan)量將(jiang)快速增長，需處置的(de)廢硫酸量也將(jiang)隨之(zhi)增加。據最新(xin)統計(ji)(ji)，2020年產(chan)生(sheng)廢酸1.25萬噸，2021年預(yu)計(ji)(ji)為2.8萬噸，到(dao)2022年上海(hai)芯片企(qi)業(ye)產(chan)生(sheng)的(de)廢硫酸將(jiang)高達6萬噸，2025年將(jiang)達到(dao)10萬噸以(yi)上。

　　面對這一形勢，上(shang)海(hai)各相關部門召開(kai)會議(yi)制定了“提前謀(mou)劃改造，形成需(xu)求匹(pi)配、長久穩定”的廢硫(liu)酸利用原(yuan)則。上(shang)海(hai)市(shi)(shi)發改委(wei)、上(shang)海(hai)市(shi)(shi)經濟和信(xin)息化(hua)委(wei)還專門組織(zhi)專家(jia)隊伍到(dao)資源化(hua)綜合利用企業澎(peng)博公司開(kai)展現(xian)場調研，了解情況，聽取企業和行(xing)業專家(jia)的意(yi)見和建議(yi)。

　　作為廢(fei)酸(suan)再利用(yong)(yong)定點(dian)企業，澎博公司(si)也啟動了匹配廢(fei)酸(suan)資源化(hua)(hua)利用(yong)(yong)技改(gai)規劃(hua)(hua)，積極(ji)響應上級部門對澎博公司(si)以廢(fei)定產、提前謀劃(hua)(hua)的(de)要求，規劃(hua)(hua)“集成電(dian)路行(xing)業10萬(wan)噸廢(fei)酸(suan)資源化(hua)(hua)利用(yong)(yong)”技改(gai)。

　　在上海(hai)市人民政(zheng)府近日印發的(de)《上海(hai)市2021-2023年生(sheng)態環境保護和建設三年行(xing)動》文件上，記(ji)者也注(zhu)意到相關(guan)條(tiao)文：在環境可控的(de)前提(ti)下，持(chi)續推動集成電路行(xing)業廢(fei)酸等危險廢(fei)物“點對(dui)點”定(ding)向(xiang)資源化利用(yong)工作，形成穩定(ding)的(de)與集成電路行(xing)業未來發展相適應的(de)廢(fei)酸處置利用(yong)能(neng)力。

　　據悉，未來，這種(zhong)廢棄硫酸“點(dian)對點(dian)”資源化(hua)定向再利用(yong)模式，將(jiang)有力(li)保障我(wo)國(guo)集成(cheng)電路(lu)行業(ye)的發展(zhan)，也將(jiang)對其(qi)他行業(ye)的危險廢物綜合(he)利用(yong)起到借鑒(jian)和引領作用(yong)。

來源(yuan)：中國環境報