中(zhong)國(guo)環境報見(jian)習記(ji)者 丁波 記(ji)者 蔡新(xin)華 上(shang)海(hai)被賦(fu)予打造集成電路(lu)產業高(gao)地的重(zhong)大(da)任務，隨著產業規模(mo)逐步(bu)擴大(da)，廢酸(suan)環境無(wu)害化(hua)(hua)處(chu)置成為突(tu)出問題。據了解(jie)，上(shang)海(hai)通(tong)過 “點(dian)對點(dian)”資源化(hua)(hua)定向再利用(yong)創新(xin)模(mo)式已破解(jie)這一難題。

　　日前，一(yi)輛掛有(you)危險標識的(de)(de)罐裝運輸車(che)穩(wen)穩(wen)駛入廠區，公(gong)司專職管理(li)員引導車(che)輛，過磅、取樣、檢驗、聯單簽收(shou)……一(yi)系列流(liu)程(cheng)后，車(che)被(bei)引導至專用卸車(che)區，車(che)上的(de)(de)特殊液體(ti)被(bei)接收(shou)到公(gong)司的(de)(de)原料(liao)儲料(liao)罐中(zhong)，等待用于后續的(de)(de)生產。

　　這是記者在位(wei)于金山第二(er)工業區內(nei)的上(shang)海澎(peng)博鈦白粉有限公司(以下簡稱澎(peng)博公司)看到的場景(jing)。罐裝(zhuang)車內(nei)裝(zhuang)運的是液體硫(liu)酸，它(ta)的特(te)殊性(xing)在于是上(shang)游(you)集成(cheng)電路芯(xin)片生產企(qi)業使(shi)用過的廢(fei)棄硫(liu)酸。

　　在現場，公司(si)負(fu)責人何文龍告(gao)訴記(ji)者，公司(si)是上海市集成電路芯片行業產(chan)生的廢硫酸(suan)(suan)資(zi)源化利用定(ding)點單(dan)位，每(mei)天(tian)安排專用車(che)輛將廢酸(suan)(suan)運回工廠，經過嚴(yan)格的檢驗流程(cheng)后(hou)再投(tou)入到鈦白粉(fen)生產(chan)當中，今年1月-7月已處(chu)置利用廢酸(suan)(suan)1.5萬噸。

　　新模(mo)式解決行業發展難題

　　據上(shang)海(hai)(hai)市生態(tai)環境局相關負責人介(jie)紹，上(shang)海(hai)(hai)首創的(de)廢硫(liu)酸(suan)“點對點”資(zi)源化定(ding)向(xiang)再利用模式(shi)運用逐步成熟，目前已(yi)經全部覆蓋了上(shang)海(hai)(hai)具備回(hui)收廢酸(suan)條件的(de)集成電路(lu)芯片制造企業(ye)，總體上(shang)穩(wen)定(ding)地解決了上(shang)海(hai)(hai)集成電路(lu)芯片制造企業(ye)廢硫(liu)酸(suan)處置問題(ti)。

　　據上海市集成(cheng)電路(lu)(lu)行業(ye)協會(hui)相關負責人介(jie)紹，集成(cheng)電路(lu)(lu)產業(ye)生(sheng)產過(guo)程中(zhong)會(hui)使用大量(liang)濃硫酸，排放以硫酸物質為(wei)主(zhu)，處理廢硫酸成(cheng)本很(hen)高，同時會(hui)存(cun)在一(yi)定的生(sheng)態環境(jing)安全風險。這個問(wen)題(ti)成(cheng)為(wei)阻礙行業(ye)發展的難題(ti)。

　　直面痛(tong)點。在上海市(shi)(shi)經濟和信(xin)息化(hua)委(wei)、上海市(shi)(shi)生(sheng)態環境局等相關部門的支持(chi)下(xia)，上海市(shi)(shi)固體廢(fei)物(wu)和化(hua)學品管理技術中心、上海市(shi)(shi)集成電路行業協會積極(ji)探(tan)索(suo)，多次召開專(zhuan)家研討會論證(zheng)(zheng)處(chu)置(zhi)方案，并于2016年(nian)開始由中芯國(guo)際和澎博公司開展廢(fei)硫酸“點對點”資源(yuan)化(hua)定向再(zai)利用試(shi)點運行，經過多輪(lun)試(shi)點驗證(zheng)(zheng)，最終形(xing)成較為成熟的經驗。

　　去年(nian)，上海市集成(cheng)電(dian)路行業(ye)(ye)協會會同多部(bu)門專門編寫形(xing)成(cheng)了《鈦白粉用集成(cheng)電(dian)路制(zhi)造行業(ye)(ye)廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標(biao)準(zhun)，在上海市質量(liang)技術監督部(bu)門網(wang)站和(he)國家標(biao)準(zhun)網(wang)上進(jin)行公示，全力保障廢酸源(yuan)頭質量(liang)的把控。

　　多維度再利用(yong)效(xiao)益明(ming)顯

　　廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)(suan)“點(dian)對(dui)點(dian)”資(zi)源化(hua)定向再利用(yong)，這(zhe)一新模(mo)(mo)式的(de)(de)環(huan)境效益、經(jing)(jing)濟(ji)效益和社會效益都(dou)很顯著。相關專家(jia)告訴(su)記者(zhe)，模(mo)(mo)式的(de)(de)核心是實現集成電路制造過(guo)程中(zhong)產(chan)(chan)生(sheng)的(de)(de)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)(suan)替代鈦(tai)(tai)白粉生(sheng)產(chan)(chan)工藝過(guo)程中(zhong)用(yong)到的(de)(de)工業硫(liu)酸(suan)(suan)(suan)。經(jing)(jing)過(guo)試(shi)點(dian)驗(yan)證，這(zhe)種模(mo)(mo)式技(ji)術可行性(xing)很強，廢(fei)酸(suan)(suan)(suan)再利用(yong)單位在使用(yong)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)(suan)生(sheng)產(chan)(chan)鈦(tai)(tai)白粉時，不需要調整現有工藝。同時，替用(yong)過(guo)程不增加額(e)外的(de)(de)環(huan)境負擔與風險，不影(ying)響產(chan)(chan)品的(de)(de)質量，符合(he)“固體廢(fei)物減量化(hua)、資(zi)源化(hua)和無害化(hua)”原則。

　　談到經(jing)濟效益(yi)，這位專家給記者(zhe)算了一筆(bi)賬：澎博(bo)公(gong)司(si)再利用(yong)(yong)廢硫(liu)酸(suan)每噸(dun)收費(fei)500元，按照上海市往年廢硫(liu)酸(suan)處(chu)置費(fei)每噸(dun)2000元計算，今年1月至7月，澎博(bo)公(gong)司(si)累計利用(yong)(yong)廢硫(liu)酸(suan)1.5萬噸(dun)，集成電路生(sheng)產企(qi)業可節約2250萬元。同時，澎博(bo)公(gong)司(si)也節省(sheng)了購(gou)置工業濃(nong)硫(liu)酸(suan)的費(fei)用(yong)(yong)，產廢企(qi)業和再利用(yong)(yong)企(qi)業達到了“雙贏”。

　　此外，新模式還(huan)符合循環經(jing)濟產業(ye)需求，不僅(jin)解決了(le)廢硫(liu)酸處(chu)置出路難、處(chu)置費用高的難題，降低了(le)企業(ye)生(sheng)產成本(ben)和廢硫(liu)酸處(chu)理費用，還(huan)促(cu)進了(le)鈦白粉(fen)生(sheng)產單位的升(sheng)級改造、精準轉型和綠色(se)發(fa)展，為日后集成電(dian)路產業(ye)的蓬勃發(fa)展鋪平(ping)了(le)道(dao)路。

　　深入推(tui)進“點對(dui)點”資源化再利用

　　“在探索推(tui)行(xing)這一新模式的(de)過程中，我們以守好環境(jing)底線(xian)為前(qian)提，做到嚴格把關，按(an)程序(xu)推(tui)進(jin)。”上海(hai)(hai)市生態環境(jing)局相關負責人介紹(shao)，在前(qian)期提出設(she)(she)想并加以論證的(de)基礎上，他們于2016年發(fa)文，同(tong)意將中芯國際和澎博公司設(she)(she)立為上海(hai)(hai)市首個廢(fei)硫酸(suan)定向(xiang)再(zai)利(li)用(yong)試點單位，利(li)用(yong)芯片廢(fei)硫酸(suan)生產鈦白粉。

　　2019年11月(yue)，上(shang)海市(shi)(shi)生(sheng)態(tai)環境局同意4家企(qi)業(ye)廢(fei)硫酸(suan)定(ding)向資源化(hua)再(zai)利用(yong)(yong)備(bei)案(an)。2020年10月(yue)，上(shang)海市(shi)(shi)生(sheng)態(tai)環境局擴大廢(fei)硫酸(suan)定(ding)向資源化(hua)再(zai)利用(yong)(yong)備(bei)案(an)，新增4家企(qi)業(ye)，全面覆(fu)蓋上(shang)海市(shi)(shi)具備(bei)回收(shou)廢(fei)酸(suan)條(tiao)件的集(ji)成電路制(zhi)造企(qi)業(ye)。

　　據(ju)介紹(shao)，目前，各方進(jin)展(zhan)順(shun)利，各試點(dian)企業(ye)在(zai)(zai)嚴格執(zhi)行(xing)(xing)(xing)危險廢物各項管理制度下，廢硫(liu)酸(suan)源(yuan)頭品質得(de)到保障(zhang)，并委托(tuo)具有(you)相關運(yun)輸資質的單位專(zhuan)(zhuan)人專(zhuan)(zhuan)車進(jin)行(xing)(xing)(xing)運(yun)輸。澎(peng)(peng)博(bo)公司在(zai)(zai)廢酸(suan)使用期間，生產運(yun)行(xing)(xing)(xing)穩定，各項污染(ran)物排放(fang)環保指標(biao)(biao)檢(jian)測均符(fu)合排放(fang)標(biao)(biao)準。同(tong)時，澎(peng)(peng)博(bo)公司對生產設(she)備工(gong)藝進(jin)行(xing)(xing)(xing)優化改造，在(zai)(zai)末端(duan)形成(cheng)了可滿(man)足近期集成(cheng)電(dian)路產業(ye)發展(zhan)需求的每年6萬噸(dun)廢硫(liu)酸(suan)利用能力。

　　“十四五(wu)”期間，上海(hai)的集成(cheng)電路產量(liang)將(jiang)快(kuai)速增長，需處置的廢硫酸量(liang)也將(jiang)隨之增加。據最新統(tong)計(ji)，2020年產生(sheng)廢酸1.25萬(wan)(wan)噸(dun)，2021年預(yu)計(ji)為2.8萬(wan)(wan)噸(dun)，到2022年上海(hai)芯片企業(ye)產生(sheng)的廢硫酸將(jiang)高達6萬(wan)(wan)噸(dun)，2025年將(jiang)達到10萬(wan)(wan)噸(dun)以上。

　　面對這一(yi)形(xing)勢，上海各相關部門(men)召開會議(yi)制定了“提(ti)前(qian)謀劃改(gai)造(zao)，形(xing)成需(xu)求匹配、長久穩定”的(de)廢硫酸(suan)利用(yong)原則。上海市發改(gai)委(wei)、上海市經濟和信息(xi)化(hua)(hua)委(wei)還專門(men)組(zu)織專家(jia)隊伍到資源(yuan)化(hua)(hua)綜合利用(yong)企業澎博公司(si)開展現(xian)場調(diao)研(yan)，了解情況，聽取(qu)企業和行業專家(jia)的(de)意見和建議(yi)。

　　作為廢(fei)酸再利用(yong)定點企(qi)業，澎博公(gong)司也啟動了(le)匹配廢(fei)酸資源(yuan)化利用(yong)技改規(gui)劃，積極響應上(shang)級部門對澎博公(gong)司以廢(fei)定產、提前謀劃的要求，規(gui)劃“集成電路行(xing)業10萬噸廢(fei)酸資源(yuan)化利用(yong)”技改。

　　在上(shang)(shang)海市人民政府近日(ri)印發(fa)的(de)(de)《上(shang)(shang)海市2021-2023年生態環(huan)境保護和建設三年行動(dong)》文件上(shang)(shang)，記者也注意到(dao)相關條文：在環(huan)境可控的(de)(de)前(qian)提下，持續推動(dong)集成(cheng)電(dian)路行業廢酸(suan)等危險廢物(wu)“點(dian)對點(dian)”定(ding)向資源化(hua)利用工作，形成(cheng)穩定(ding)的(de)(de)與集成(cheng)電(dian)路行業未(wei)來(lai)發(fa)展相適應的(de)(de)廢酸(suan)處置(zhi)利用能力。

　　據(ju)悉(xi)，未來，這種廢(fei)棄硫(liu)酸(suan)“點對(dui)(dui)點”資源化定(ding)向再利用模(mo)式，將有(you)力(li)保障我國集成(cheng)電路行業的發展，也將對(dui)(dui)其他行業的危險(xian)廢(fei)物(wu)綜合利用起(qi)到借鑒(jian)和引領作用。

來源：中國環境報(bao)